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マイクロメカトロニクス micromechatronics

デジタル大辞泉の解説

マイクロメカトロニクス(micromechatronics)

半導体製造に用いられる微細加工技術を応用し、マイクロマシンなどの超小型の機械システムをつくる技術の総称

出典|小学館デジタル大辞泉について | 情報 凡例

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