デジタル大辞泉 「化学蒸着法」の意味・読み・例文・類語
かがく‐じょうちゃくほう〔クワガクジヨウチヤクハフ〕【化学蒸着法】
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化学辞典 第2版 「化学蒸着法」の解説
化学蒸着法
カガクジョウチャクホウ
chemical vapor deposition method
略称CVD法．気相成長法のうち，混合気体原料をキャリヤーとともに流し，反応によって基板上に単結晶を析出させる方法で，一種の気相エピタキシー成長法である．この方法によるシリコン単結晶層の成長が，ブレーナー型トランジスターやICなどの技術を可能にした．最近では，この方法によるGaAsなどの化合物半導体，さらにはフェライトなどの磁性体の単結晶層成長も行われている．
出典 森北出版「化学辞典（第2版）」化学辞典 第2版について 情報
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