化学辞典 第2版 「蛍光X線分析法」の解説
蛍光X線分析法
ケイコウエックスセンブンセキホウ
X-ray fluorometry
高いエネルギーのX線，電子線を試料に照射し，試料から電子を放出させ，電子が抜けた軌道に，それより高いエネルギーの軌道から電子が移るときに放出される，蛍光X線(特性X線：元素に特有)を測定して，試料に含まれる元素を非破壊で同定・定量分析する方法．蛍光という言葉は，照射するX線よりも波長の長いX線という意味で使われている．分析装置には，波長分散方式(WDX)とエネルギー分散方式(EDX)とがある．WDX方式は，格子間距離がわかっている結晶を使い，その結晶を回転させ，蛍光X線の波長をブラッグの式(ブラッグ条件)を用いて決定する方式である．結晶角度を回転させ，蛍光X線を分散させて検出するので，EDXと比べて検出の効率は悪いが分解能はよい．試料に微少含まれる元素を，主成分の特性X線の妨害なく分析したいときに有効な方法である．EDX方式は，半導体検出器がエネルギー分解能があることを利用し，X線のエネルギーを直接測定する方式である．試料の全体量が少なく，蛍光X線が弱い場合に用いられる．
出典 森北出版「化学辞典（第2版）」化学辞典 第2版について 情報