顕微干渉計（読み）けんびかんしょうけい（その他表記）microinterferometer; interference microscope

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

顕微干渉計
けんびかんしょうけい
microinterferometer; interference microscope

微細な凹凸のある表面と光学的に平らな面とから反射された光を合せて，現れた干渉縞を顕微鏡で拡大し，肉眼や写真によって表面状態を調べる装置。研磨されたガラスや金属の表面などのような触針法 (→表面粗さ測定器 ) では求めにくい非常に微細な凹凸の検査に用いられる。しかし光沢があるうえに凹凸のゆるやかな面でないと観測できない，また観察範囲が狭く，特殊な方法を用いないとあらい面 (数 μm 以上の凹凸) を検査できないなどの欠点がある。

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