高周波放電(読み)コウシュウハホウデン

化学辞典 第2版 「高周波放電」の解説

高周波放電
コウシュウハホウデン
high frequency discharge

簡単な放電電源には50~60 Hz の交流を用いるが,周波数が増えると放電は起こりやすくなる.直流あるいは低周波放電では,放電を持続させるのに電極からの電子補給が不可欠だが,周波数が高くなると荷電粒子が放電気体中に残ったままで運動し,無極放電が可能になる.放電に伴う化学反応では,一般に,収量は周波数とともに増加する.希ガスの高周波放電は,真空紫外線光源としてよく用いられる.

出典 森北出版「化学辞典(第2版)」化学辞典 第2版について 情報

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