高周波放電（読み）コウシュウハホウデン

化学辞典 第2版

高周波放電
コウシュウハホウデン
high frequency discharge

簡単な放電の電源には50～60 Hz の交流を用いるが，周波数が増えると放電は起こりやすくなる．直流あるいは低周波放電では，放電を持続させるのに電極からの電子の補給が不可欠だが，周波数が高くなると荷電粒子が放電気体中に残ったままで運動し，無極放電が可能になる．放電に伴う化学反応では，一般に，収量は周波数とともに増加する．希ガスの高周波放電は，真空紫外線の光源としてよく用いられる．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」