ALE（読み）エーエルイー（その他表記）atomic layer epitaxy

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

ALE
エーエルイー
atomic layer epitaxy

半導体等の単結晶を単原子層ずつ制御して基板上に成長させる新しい結晶成長技術の一つ。縦方向および横方向の寸法を nmレベルの超微細構造とすることにより，量子井戸レーザーや超格子素子など，従来の素子とは動作原理の異なる量子効果を利用する機能素子が実現できる。分子線エピタクシーも近い方法であるが，狭義には単原子層の精密な制御は，原料ガスを基板表面に吸着させ，表面反応により単原子層を成長させる工程を繰り返すことをいう。表面反応を促進させるため，紫外線を照射することも行なわれている。

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