サブミクロン加工法(読み)サブミクロンかこうほう(その他表記)submicron processing

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典 「サブミクロン加工法」の意味・わかりやすい解説

サブミクロン加工法
サブミクロンかこうほう
submicron processing

大規模集積回路 (LSI) の製造において,集積規模を上げるために素子を小さくすること,配線をできるだけ細くすることなどの微細加工技術をいう。現状では1μm以下の寸法のゲート配線幅が要求されている。この幅が 0.5μmだと,0.5μmルールといわれる。このような細い加工には,紫外線露光,X線露光,電子ビーム露光を用いてフォトレジストに描画し,ドライエッチングを用いてウェハー,電極金属の加工を行なっている。また,半導体レーザーでの分布帰還型レーザーでは,0.2μmピッチの回折格子を半導体基板上に形成しているが,これは周期的構造なので,レーザー光の干渉を利用してフォトレジストに描画している。

出典 ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典について 情報

今日のキーワード

ドクターイエロー

《〈和〉doctor+yellow》新幹線の区間を走行しながら線路状態などを点検する車両。監視カメラやレーザー式センサーを備え、時速250キロ以上で走行することができる。名称は、車体が黄色(イエロー)...

ドクターイエローの用語解説を読む

コトバンク for iPhone

コトバンク for Android