ダイヤモンド薄膜（読み）ダイヤモンドはくまく（英語表記）diamond-thin film

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

ダイヤモンド薄膜
ダイヤモンドはくまく
diamond-thin film

人工ダイヤモンドの一種。従来，ダイヤモンドは天然あるいは人工で超高圧・超高温下で得られてきた。しかし，最近はプラズマ放電中の気体反応を利用するプラズマ化学蒸着法などの手法を用いることにより，大気圧以下の圧力の下でもダイヤモンドが合成されるようになった。こうして得られたダイヤモンド薄膜で被覆した，超硬工具や半導体材料が開発されている。

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