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サブミクロン加工法 サブミクロンかこうほう submicron processing

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

サブミクロン加工法
サブミクロンかこうほう
submicron processing

大規模集積回路 (LSI) の製造において,集積規模を上げるために素子を小さくすること,配線をできるだけ細くすることなどの微細加工技術をいう。現状では1μm以下の寸法のゲート配線幅が要求されている。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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