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シリコン窒化膜 シリコンちっかまく silicon nitride thin film

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

シリコン窒化膜
シリコンちっかまく
silicon nitride thin film

シリコン (ケイ素) と窒素の化合物 Si3N4 の薄膜。反応性スパッタリング,あるいは SiH4-NH3 系,SiCl4-NH3 系の熱分解によってシリコンウエハ上などに形成される。通常は非晶質。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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