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ターボ分子ポンプ ターボぶんしポンプ turbo molecular pump

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

ターボ分子ポンプ
ターボぶんしポンプ
turbo molecular pump

分子真空ポンプの一つ。 1957年にドイツベッカーによって発明された。外周部に多数の翼をもつ回転円盤 (動翼) と,それとは逆方向に傾斜した翼をもつ固定円盤 (静翼) とを交互に数十段配置し,動翼を数万 rpmで高速回転させ,周速度を分子速度と同程度とし,モレキュラードラッグ効果により吸気側から排気側への気体分子の翼間通過確率が,逆方向の通過確率よりも高くなることを利用して排気を行う。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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