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マイクロ・メカトロニクス マイクロメカトロニクス micromechatronics,microelectromechanics

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

マイクロ・メカトロニクス
マイクロメカトロニクス
micromechatronics,microelectromechanics

高度な IC製作技術を利用して数十~100μmという微小機械の製造,操作,制御を行う技術分野。さらに最近ではイオンビームを利用して,数十μmの部品の加工,組立てを行う技術も開発され,機械分野だけでなく医学,生物分野にもマイクロマシンプロジェクトとして拡大しつつある。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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