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マイクロ・メカトロニクス マイクロメカトロニクスmicromechatronics,microelectromechanics

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

マイクロ・メカトロニクス
マイクロメカトロニクス
micromechatronics,microelectromechanics

高度な IC製作技術を利用して数十~100μmという微小機械の製造,操作,制御を行う技術分野。さらに最近ではイオンビームを利用して,数十μmの部品の加工,組立てを行う技術も開発され,機械分野だけでなく医学,生物分野にもマイクロマシンプロジェクトとして拡大しつつある。素材としても,シリコンだけでなく,ポリイミドなどの高分子材料,水晶などの圧電材料タングステンなどの特殊な金属材料も対象となっている。

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