超精密測定器（読み）ちょうせいみつそくていき（英語表記）ultraprecision measuring instrument

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

超精密測定器
ちょうせいみつそくていき
ultraprecision measuring instrument

長さ，時間，質量の基本3次元について，超精密測定をする装置。長さの高精密測定は，現在，光の繰返し反射の干渉縞の個数をはかる方法により，電子回路によって積算する。時間 (振動数) については，安定した水晶発振器の振動を逓増して，原子吸収線の振動数に近づけ，発生した電磁波の吸収量のずれをつかまえて，水晶発振器の振動数を制御することで，高精度測定規準をつくる。単発の時間長は，この振動数を直接電子回路で積算して求める (数十 MHz程度まで可能) 。また質量の高精度測定には，てんびん以外に適当な手段がない。したがって限界精度はほぼ一定であり，高感度のものは秤量限度が低い。電子回路によって，高感度てんびんの時定数を小さくすることはできるが，絶対精度に問題が残る。高感度測定分野の到達点は，長さで 10Å ( 10^-9m＝1nm ) ，時間で 10^-9 秒，質量は 10^-11g 程度である。これらの測定技術は，時報，ゲージの校正，超微量分析などの方面で利用されている。ただし長さの分解限度でいえば，特によく設計された透過型あるいは表面放射型 (ミュラー型) の電子顕微鏡では 1～5Å まで分解できるが，これは計器とはいえない。

出典　ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典