最新 地学事典 「電子線後方散乱回折法」の解説
でんしせんこうほうさんらんかいせつほう
電子線後方散乱回折法
electron back scatter diffraction
走査電子顕微鏡内で細く絞った電子ビームを試料へ照射して得られる後方散乱回折図形（菊池線パターンもしくは菊池パターンと呼ばれる）から試料の結晶方位を測定する手法。略称はEBSD。電子ビームに対して試料を通常70゜ほど傾斜させて測定を行う。回折図形は，試料表面の厚さ数十nmほどの領域から励起されるため，通常の鏡面研磨の後，コロイダルシリカを用いた化学機械研磨によって試料準備を行う。試料上で電子ビームをスキャンして結晶方位マッピング像を取得すれば，結晶粒のサイズや歪みなどの情報も得ることができる。
執筆者：大藤 弘明
出典 平凡社「最新 地学事典」最新 地学事典について 情報
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