電子線後方散乱回折法（読み）でんしせんこうほうさんらんかいせつほう

最新 地学事典

でんしせんこうほうさんらんかいせつほう
電子線後方散乱回折法

electron back scatter diffraction

走査電子顕微鏡内で細く絞った電子ビームを試料へ照射して得られる後方散乱回折図形（菊池線パターンもしくは菊池パターンと呼ばれる）から試料の結晶方位を測定する手法。略称はEBSD。電子ビームに対して試料を通常70゜ほど傾斜させて測定を行う。回折図形は，試料表面の厚さ数十nmほどの領域から励起されるため，通常の鏡面研磨の後，コロイダルシリカを用いた化学機械研磨によって試料準備を行う。試料上で電子ビームをスキャンして結晶方位マッピング像を取得すれば，結晶粒のサイズや歪みなどの情報も得ることができる。

執筆者：大藤 弘明

出典　平凡社「最新 地学事典」