X線リソグラフィー（読み）エックスセンリソグラフィー（英語表記）X-ray lithography

デジタル大辞泉

エックスせん‐リソグラフィー【X線リソグラフィー】

半導体集積回路などの製造方法の一つ。シリコンウエハーにX線レジストなどの感光材を塗布し、X線吸収率が高い金属などの回路原版を重ね、波長がやや長い軟X線を照射して転写する。フォトリソグラフィーよりも微細な加工が可能。

出典　小学館

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

X線リソグラフィー
えっくすせんリソグラフィー
X-ray lithography

X線を用いてマスクパターンを半導体ウェハー上のレジストに縮小撮影して露光し，転写する方法。一般に使われている紫外線リソグラフィーより解像度が高く，0.1μm くらいの微細パターン形成が可能である。X線露光では，レジスト塗布したウェハーの上にX線マスクを重ね，その上からX線を照射してマスクパターンをレジストに焼付け転写する。波長 0.5～15μm くらいの軟X線を用いる。X線マスクはX線透過率の高い基板上にX線吸収率の高い金属材料でパターンを形成してある。パターン転写時のボケを小さくするため，X線の広がり角度は小さいほどよい。X線光源には，X線管，プラズマX線源，シンクロトロン放射光などがある。特にシンクロトロン放射光は，平行度が高くX線強度も大きいので，光源として有望視されている。X線露光の適用分野は紫外線露光で不可能な 0.1μm 級 LSIの生産にあるとされている。ただし，実用化のためには強力かつ経済的な軟X線光源の開発を加えて，この微細寸法に見合う高精度マスクの製造や露光時の位置合せなど，検討を要する問題が残されている。

出典　ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

化学辞典 第2版

X線リソグラフィー
エックスセンリソグラフィー
X-ray lithography

半導体の回路パターンの微細化を目的として，軌道放射光源などからのX線を用いて描画するリソグラフィー．短波長であるから，紫外線を用いるリソグラフィーより線幅を狭くできる．35 nm レベルが達成されている．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」