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X線リソグラフィー えっくすせんリソグラフィー X-ray lithography

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

X線リソグラフィー
えっくすせんリソグラフィー
X-ray lithography

X線を用いてマスクパターン半導体ウェハー上のレジストに縮小撮影して露光し,転写する方法。一般に使われている紫外線リソグラフィーより解像度が高く,0.1μm くらいの微細パターン形成が可能である。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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