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フォトマスク フォトマスク photomask

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

フォトマスク
フォトマスク
photomask

半導体に写真技術と化学腐触 (エッチング) を併用して微細加工するフォトエッチングにおいて,紫外線照射時に用いる写真露光用の原画フィルム高分子フォルム上に高解像力の乾板材を塗布したエマルジョンマスクと,ガラス上に無機薄膜材料を堆積させたハードマスクとに分類できる。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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デジタル大辞泉の解説

フォトマスク(photomask)

半導体集積回路、液晶ディスプレーなどの製造工程で、フォトリソグラフィー技術によってシリコン基板上に焼き込まれる回路のパターンの原板。透明なガラスや石英が用いられる。マスク。レチクル

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