三弗化窒素（読み）サンフッカチッソ

デジタル大辞泉

さんふっか‐ちっそ〔サンフツクワ‐〕【三^×弗化窒素】

窒素と弗素の化合物。無色無臭の気体。水に難溶。常温では化学的に安定で、温度が上がると酸化力が強くなる。半導体集積回路のプラズマエッチングに用いられる。温室効果ガスの一種で、二酸化炭素の約1万7千倍の地球温暖化係数をもつ。化学式NF₃

出典　小学館