デジタル大辞泉 「三弗化窒素」の意味・読み・例文・類語 さんふっか‐ちっそ〔サンフツクワ‐〕【三×弗化窒素】 窒素と弗素の化合物。無色無臭の気体。水に難溶。常温では化学的に安定で、温度が上がると酸化力が強くなる。半導体集積回路のプラズマエッチングに用いられる。温室効果ガスの一種で、二酸化炭素の約1万7千倍の地球温暖化係数をもつ。化学式NF3 出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例 Sponserd by
