光CVD（読み）ヒカリシーブイディー

化学辞典 第2版

光CVD
ヒカリシーブイディー
photo chemical vapor deposition

プラズマCVDと同じ考え方で，ガスの分解エネルギーを光で与えて成膜を行う方法．プラズマではそのエネルギーを制御することは難しいため，特定の生成種が得られるようにすることは大変困難であるが，光の場合には波長によりエネルギーが制御できるので，目的とする結合を容易に切ることができ，成膜に必要とする生成種を得やすいという特徴をもつ．しかし，光を導入するための窓層への堆積が起こり，基板上まで十分な光エネルギーが供給できないという問題点がある．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」