半導体ガス（読み）はんどうたいガス

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

半導体ガス
はんどうたいガス

半導体を製造する際の材料となる，シリコン，ゲルマニウム，ヒ素，ガリウムなどの化合物の特殊ガス。たとえば，ガリウムヒ素半導体（→ヒ化ガリウム）を有機金属熱分解気相成長法（→気相成長，MOCVD）でつくる場合，半導体ガスとしてトリメチルガリウムとアルシンなどの混合ガスを用いる。半導体技術の発展や，通信や情報処理分野への半導体レーザーを用いた光技術の応用が活発化するにつれ，その製造過程で用いられる半導体ガスの種類と量がますます増えている。半導体ガスの多くは発火しやすく，有毒なため，取り扱いに注意が必要である。

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