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半導体ガス はんどうたいガス

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

半導体ガス
はんどうたいガス

半導体製造用特殊ガスのこと。半導体技術の発展や,通信や情報処理分野への半導体レーザーを用いた光技術の応用が活発化するにつれ,その製造過程で用いられる半導体用特殊ガスの種類と量がますますふえている。それらは,シリコン,ゲルマニウム,ヒ素,ガリウムの化合物で,たとえば,ガリウム-ヒ素半導体を有機金属熱分解気層生長法でつくる場合,半導体ガスとしてはトリメチルガリウムとアルシンの混合ガスを用い,それを熱分解する。しかし半導体ガスは発火しやすいうえ,人体に有毒であるため,取扱いに注意が必要である。

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