物理気相成長法(読み)ブツリキソウセイチョウホウ

デジタル大辞泉 「物理気相成長法」の意味・読み・例文・類語

ぶつりきそう‐せいちょうほう〔ブツリキサウセイチヤウハフ〕【物理気相成長法】

原料プラズマレーザーで加熱して蒸発させ、対象とする基板金属表面に、物理的に薄膜蒸着させる方法。分子線エピタキシースパッタリングイオンプレーティングなどの手法があり、半導体素子製造工具金型表面処理に利用される。物理蒸着法PVD(physical vapor deposition)。

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