酸化イットリウム（読み）サンカイットリウム

デジタル大辞泉

さんか‐イットリウム〔サンクワ‐〕【酸化イットリウム】

イットリウムの酸化物。無色の結晶または白色の粉末。等軸晶系。水・アルカリに不溶。屈折率は1.91と高い。耐プラズマ性に優れる。半導体製造装置、レーザー材料に用いられる。イットリア。化学式Y₂O₃

出典　小学館