電子ビーム(読み)デンシビーム(その他表記)electron beam

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典 「電子ビーム」の意味・わかりやすい解説

電子ビーム
でんしビーム
electron beam

電子線ともいう。電子管陰極から放出された電子群に,適当な電界または磁界をかけて加速し,また方向性を整えてつくった電子流束。粒子としての性質と同時にド・ブロイ波で表わされる波動としての性質をもつ。X線管電子顕微鏡,ブラウン管オシロスコープ,テレビジョンにおける録画に使われるほか,物体に照射してその加熱溶接,加工に用いられる。特に電子ビームによる極微細加工は,電子ビームの波長を光の波長より十分短くできるため超 LSI用のサブミクロン (1μm以下) 幅のパターン形成に欠かすことができない。 (→電子銃 )

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世界大百科事典(旧版)内の電子ビームの言及

【電子線】より

…電子ビームともいう。一定の方向に進む電子の細い流れ。…

※「電子ビーム」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」

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