スパッタリング（その他表記）sputtering

翻訳｜sputtering

デジタル大辞泉 「スパッタリング」の意味・読み・例文・類語

スパッタリング（sputtering）

固体の表面に電界で加速された高エネルギーのイオン粒子を照射して衝突させると、その固体の表面の原子・分子が外へはじき出されて表面が損耗する現象。真空蒸着の困難な高融点・低蒸気圧の元素や酸化物の薄膜を作るのに利用される。

出典　小学館デジタル大辞泉について　情報 | 凡例

関連語 真空蒸着

今日のキーワード

乞巧奠

乞巧奠〈公事十二ケ月絵巻〉〘 名詞 〙 陰暦七月七日の行事。乞巧は技工、芸能の上達を願う祭。もと中国の行事であるが、日本でも奈良時代以来、宮中の節会(せちえ)としてとり入れられ、在来の棚機津女(たなば...

乞巧奠の用語解説を読む