化学気相成長法(読み)カガクキソウセイチョウホウ

デジタル大辞泉 「化学気相成長法」の意味・読み・例文・類語

かがくきそう‐せいちょうほう〔クワガクキサウセイチヤウハフ〕【化学気相成長法】

原料を含む混合ガスを加熱した基板の上に流し、熱分解などの化学反応によって表面結晶非晶質薄膜蒸着させる方法半導体素子の製造過程において、絶縁体金属などの薄膜を形成するのに欠くことのできない重要な技術化学蒸着法化学気相堆積法化学気相反応法CVD(chemical vapor deposition)。

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