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イオンビーム加工 イオンビームかこう ion beam machining

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世界大百科事典 第2版の解説

イオンビームかこう【イオンビーム加工 ion beam machining】

イオンを加速および集束して被加工物に照射し,その衝突エネルギーを利用して加工を行う方法。工具としてのイオンの質量と,被加工物の原子の質量がほぼ等しいことによる衝突効率のよさを利用する加工法で,電子ビームにより被加工物を加熱してその蒸発現象を利用する電子ビーム加工とは本質的にその原理を異にする運動エネルギーの利用効率が高い,電子ビーム加工のように真空装置を必要としないなどの長所をもつ反面,イオン発生の能率が低い,ビームの集束性が悪いなどの問題点がある。

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

イオンビーム加工
イオンビームかこう

スパッタリング技術」のページをご覧ください。

出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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