エピタクシー（英語表記）epitaxy

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

エピタクシー
epitaxy

単結晶の表面を基板として，その上に同種あるいは異種の物質の薄膜状の単結晶がある一定の方向をとって成長する現象のこと。結晶化学的に類似しているか，2結晶が接合する部分の原子間距離がきわめて近い場合にみられる。基板結晶上にその結晶と同一方位をもつ単結晶を成長させるエピタキシャル技術は半導体の分野で非常に重要な技術である。

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