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ステッパー stepper

翻訳|stepper

大辞林 第三版の解説

ステッパー【stepper】

集積回路の製造で、回路パターンを比例縮小して基板上に露光転写する装置。 → リソグラフィー

出典 三省堂大辞林 第三版について 情報

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