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ステッパー ステッパー stepper

翻訳|stepper

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デジタル大辞泉の解説

ステッパー(stepper)

シリコン基板上にIC回路パターンを焼き付ける装置で、基板をステップ状に移動して露光する。

出典|小学館 この辞書の凡例を見る
監修:松村明
編集委員:池上秋彦、金田弘、杉崎一雄、鈴木丹士郎、中嶋尚、林巨樹、飛田良文
編集協力:曽根脩
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大辞林 第三版の解説

ステッパー【stepper】

集積回路の製造で、回路パターンを比例縮小して基板上に露光転写する装置。 → リソグラフィー

出典|三省堂
(C) Sanseido Co.,Ltd. 編者:松村明 編 発行者:株式会社 三省堂 ※ 書籍版『大辞林第三版』の図表・付録は収録させておりません。 ※ それぞれの用語は執筆時点での最新のもので、常に最新の内容であることを保証するものではありません。

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