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薄膜集積回路 はくまくしゅうせきかいろthin film integrated circuit

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

薄膜集積回路
はくまくしゅうせきかいろ
thin film integrated circuit

ガラスや磁器の絶縁物基板上に,金属や抵抗体などを薄い膜状につけて,抵抗,コンデンサ,コイル,結線などの回路要素を構成し,全体としてある機能をもった回路にまとめあげたもの。膜厚が 0.01μm~数μmのものを薄膜集積回路,数μm~50μmのものを厚膜集積回路と呼んで区別することもある。トランジスタなどはこの方法ではつくりにくいので,別につくられたものを薄膜集積回路と組合せ,混成集積回路とする。

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世界大百科事典内の薄膜集積回路の言及

【膜集積回路】より

…この場合には混成集積回路と同義語になる。薄膜集積回路はニクロムや窒化タンタルなどの金属薄膜により高精度の導体,抵抗,コンデンサーなどの回路素子が作れるほか,フォトエッチングにより微細な回路パターンが形成できるので集積度を高められる特徴がある。そのため,通信・工業用などのやや特殊な用途に用いられることが多い。…

※「薄膜集積回路」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典|株式会社日立ソリューションズ・クリエイト世界大百科事典 第2版について | 情報

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