出典 ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典について 情報
…この場合には混成集積回路と同義語になる。薄膜集積回路はニクロムや窒化タンタルなどの金属薄膜により高精度の導体,抵抗,コンデンサーなどの回路素子が作れるほか,フォトエッチングにより微細な回路パターンが形成できるので集積度を高められる特徴がある。そのため,通信・工業用などのやや特殊な用途に用いられることが多い。…
※「薄膜集積回路」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」
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