薄膜IC(読み)ハクマクアイシー

デジタル大辞泉 「薄膜IC」の意味・読み・例文・類語

はくまく‐アイシー【薄膜IC】

thin film ICシリコンウエハーの基板上に、蒸着フォトリソグラフィー技術により多数回路素子を配する集積回路通常ICLSIVLSIをさす。厚膜ICに比べ、格段集積度を高めることができる。薄膜集積回路薄膜回路

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