薄膜IC（読み）ハクマクアイシー

デジタル大辞泉

はくまく‐アイシー【薄膜IC】

《thin film IC》シリコンウエハーの基板上に、蒸着やフォトリソグラフィー技術により多数の回路素子を配する集積回路。通常のIC・LSI・VLSIをさす。厚膜ICに比べ、格段に集積度を高めることができる。薄膜集積回路。薄膜回路。

出典　小学館

百科事典マイペディア

薄膜IC【はくまくアイシー】

薄膜集積回路ともいい，膜集積回路の一種。

出典　株式会社平凡社