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膜集積回路 まくしゅうせきかいろ

大辞林 第三版の解説

まくしゅうせきかいろ【膜集積回路】

セラミックなど絶縁体の基板上に、真空蒸着や印刷などによって薄膜の回路素子を形成したもの。

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百科事典マイペディアの解説

膜集積回路【まくしゅうせきかいろ】

ICの一種で,半導体以外の絶縁基板上に回路素子とその相互接続が膜状に作られるもの。薄膜(はくまく)(1μm以下)集積回路と厚膜(あつまく)(1〜10μm)集積回路に大別。
→関連項目厚膜IC薄膜IC

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世界大百科事典 第2版の解説

まくしゅうせきかいろ【膜集積回路 film integrated circuit】

セラミックスなどの絶縁基板上に膜の形で回路素子を形成し,超小型の電子回路を作りあげたもの。ここで膜というのは機械加工では作れないような薄い膜の総称であり,そのうち,真空蒸着スパッタリングのように真空技術を用いて形成する薄い膜を薄膜,またスクリーン印刷技術を応用して形成するやや厚い膜を厚膜と呼んで区別している。狭義には,トランジスター,ダイオードなどの能動素子,抵抗,コンデンサーなどの受動素子のすべてを膜で形成したものを指すが,膜による能動素子が実用段階に達していない現状では,受動素子を膜で作りこれに個別の能動素子や膜化の困難な受動素子を取り付けたものまで膜回路と呼ぶことがある。

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世界大百科事典内の膜集積回路の言及

【混成集積回路】より

…集積回路は構成技術の面から,膜集積回路,半導体集積回路,混成集積回路の3種に大別することができる。膜集積回路はセラミックスなどの絶縁基板上に導電体や誘電体の膜を形成し,これらを相互接続して集積回路としたものである。…

※「膜集積回路」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

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