三弗化窒素(読み)サンフッカチッソ

デジタル大辞泉 「三弗化窒素」の意味・読み・例文・類語

さんふっか‐ちっそ〔サンフツクワ‐〕【三×弗化窒素】

窒素弗素化合物。無色無臭の気体。水に難溶。常温では化学的に安定で、温度が上がると酸化力が強くなる。半導体集積回路プラズマエッチングに用いられる。温室効果ガス一種で、二酸化炭素の約1万7千倍地球温暖化係数をもつ。化学式NF3

出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例

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