RBS（読み）アールビーエス（英語表記）Rutherford Backscattering Spectrometry

ブリタニカ国際大百科事典小項目事典「RBS」の意味・わかりやすい解説

加速イオンビームによる材料表面の元素分析をする方法の一つ。イオンとしては数 MeVのヘリウム (α粒子) のほか陽子や酸素など。材料表面に微量に含まれる重元素の分布が測定でき，半導体工業を中心に急速に広まっている。原子核の電荷により散乱される粒子を観測するだけで放射能は生じない。

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