化学辞典 第2版 「X線分光分析」の解説
X線分光分析
エックスセンブンコウブンセキ
X-ray spectroscopic analysis
物質に高速電子を照射して発生するX線や,対陰極より発生した一次X線を物質に照射して,これより生じる二次特性X線を種々の結晶格子を用いて分光し,得られたX線スペクトルより物質構成元素を分析する方法.この分析は次の三つに分類される.
(1)X線発光分光分析,
(2)蛍光X線分析,
(3)X線マイクロアナライザー.
(1)は試料に加速電子またはX線を照射し,発生するX線を分光器により,波長分離してその波長から元素を分析する.(2)は一次X線を試料に照射し,二次的に発生した蛍光X線を回折結晶により分光し,得られた特性X線の波長より元素を分析する.(3)は原理的には(2)に類似するが,マイクロアナライザーでは1 μm 以下に絞られた電子線で試料を照射し,発生する特性X線をX線スペクトロメーターによって分光し,その波長から元素を分析する.
出典 森北出版「化学辞典(第2版)」化学辞典 第2版について 情報