ナノメートル(nm)、つまり10億分の1メートルの寸法単位で加工・製作するための技術。これ以下の原子寸法でのアトムテクノロジーと区別することも多い。半導体メモリーで、1センチメートル角に数十億個のセルを集積するのが現在のサブミクロン(1マイクロメートル~100ナノメートル)技術の限界とされているため、1~100ナノメートルの加工寸法によるナノテクノロジーは新しい技術領域を開拓するものと期待されている。すでに、ゲート幅40ナノメートルのMOSFET(metal-oxide-semiconductor field effect transistor、金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ)が試作されているが、ソース・ドレーンの拡散層は10ナノメートルの極浅で、酸化膜の厚さは1.5ナノメートルと薄い。青・緑発光のレーザーにはナノテクノロジーによる量子井戸が用いられる。
サブミクロン技術では、光が加工工程での主役であるが、ナノテクノロジーになると電子ビームとか集束イオンビームが、1ナノメートル以下のアトムテクノロジーでは走査プローブ顕微鏡が主役となる。単にマイクロマシンの延長線上でなく、まったく新しい原理、たとえば生物の筋肉の伸縮や鞭毛(べんもう)モーターなどの運動機構・分子構造を利用するなど、ナノバイオロジーの方向も模索されている。
[岩田倫典]
ナノサイズ(10-9 m)に由来する新機能をもった物質や分子デバイスを,原子や分子の段階から設計・製造し,工業的に利用することをめざす研究分野.ナノサイエンスもほぼ同義語として使われる.近年発展がいちじるしく,ナノカーボン(カーボンナノチューブやフラーレンなど),マイクロチップ,医療用マイクロマシン技術,ナノ計測・加工装置の開発,ナノ触媒を用いる高性能燃料電池の開発など,材料,情報通信,ライフサイエンス,環境など広い分野のメゾスコピック領域(1 μm から~1 nm の領域)の研究の根幹をなす科学技術になってきており,近未来社会における産業基盤技術と予想されている.
出典 森北出版「化学辞典(第2版)」化学辞典 第2版について 情報
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