日本大百科全書(ニッポニカ) 「ナノテクノロジー」の意味・わかりやすい解説
ナノテクノロジー
なのてくのろじー
ナノメートル(nm)、つまり10億分の1メートルの寸法単位で加工・製作するための技術。これ以下の原子寸法でのアトムテクノロジーと区別することも多い。半導体メモリーで、1センチメートル角に数十億個のセルを集積するのが現在のサブミクロン(1マイクロメートル~100ナノメートル)技術の限界とされているため、1~100ナノメートルの加工寸法によるナノテクノロジーは新しい技術領域を開拓するものと期待されている。すでに、ゲート幅40ナノメートルのMOSFET(metal-oxide-semiconductor field effect transistor、金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ)が試作されているが、ソース・ドレーンの拡散層は10ナノメートルの極浅で、酸化膜の厚さは1.5ナノメートルと薄い。青・緑発光のレーザーにはナノテクノロジーによる量子井戸が用いられる。
サブミクロン技術では、光が加工工程での主役であるが、ナノテクノロジーになると電子ビームとか集束イオンビームが、1ナノメートル以下のアトムテクノロジーでは走査プローブ顕微鏡が主役となる。単にマイクロマシンの延長線上でなく、まったく新しい原理、たとえば生物の筋肉の伸縮や鞭毛(べんもう)モーターなどの運動機構・分子構造を利用するなど、ナノバイオロジーの方向も模索されている。
[岩田倫典]