電子衝撃（読み）デンシショウゲキ

化学辞典 第2版

電子衝撃
デンシショウゲキ
electron impact, electron bombardment

原子や分子のイオン化，励起，解離，また固体表面からの二次電子放射，固体の加熱，固体表面の清浄化などを行う目的で，一定の速度に加速した電子で物質を照射すること．質量分析計のイオン源で，もっとも普通に使用されているイオン化法である．電子は通常，タングステン，または表面を仕事関数の小さい酸化物などで処理したもの，トリウムを含んだタングステンなどの線に電流を流し，加熱して発生させ，これを静電場で任意のエネルギーに加速する．そのほか，金属に紫外線を照射して発生する光電子を使用するものや，強電場を細い金属棒の先端と陽極間に荷電し，電界放射(field electron emission，[別用語参照]電界イオン化)により発生した電子を使用する場合もある．後の2方法は，電子源が低温であり，エネルギー分布が小さい利点がある．原子や分子をイオン化する方法は種々あるが，電子衝撃法は光イオン化法に比べ，エネルギー分解能は劣るが，広範囲のエネルギーをもった電子が容易に得られ，電子線を曲げたり収束したりすることが容易で，強度の強いビームが得られるので，広いエネルギー領域での物質と電子との相互作用のエネルギー依存性を求める点でもっとも有利である．エネルギー分解能を高めるために，電子エネルギー選別器，RPD法などが使用されている．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」