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電離真空計 でんりしんくうけいionization vacuum gauge

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

電離真空計
でんりしんくうけい
ionization vacuum gauge

真空計の1種。低圧の気体分子を電子衝撃によって電離すると,生じた正イオン電流が気体の圧力に比例することを利用する。三極真空管と同様な電極配置をもち,陰極は熱陰極型と冷陰極型の2種類があるが,前者をさすことが多い。また,正イオン電流をプレートに集める方式針状コレクタに集める方式 (ベアード-アルパート真空計) があるが,後者の方が高真空 ( 10-7 Torr以下) の測定に適する。熱陰極型は,測定可能範囲が 10-1~10-10 Torrであり,測定法も比較的容易であるが,熱陰極が切れやすく,被測定系に与える攪乱が大きいという難点もある。これに対して冷陰極型は,精度は劣るが,被測定系に与える攪乱は比較的小さく,故障も少い。気体の電離にラジウムα線を使う方式もある。最高度の真空がはかられ,信頼度も高いので標準用や工業用として用いられる。

出典 ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典について 情報

世界大百科事典内の電離真空計の言及

【真空計】より

…高真空領域では,熱電子によって気体分子を電離し,その結果生成したイオンの量を測るという方法が一般的である。これを電離真空計ionization gaugeという。やや高い圧力まで測定できるものをシュルツ型といい,超高真空領域まで使用できるよう改善されたものをB‐A型と呼ぶ。…

※「電離真空計」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典|株式会社日立ソリューションズ・クリエイト世界大百科事典 第2版について | 情報

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