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電離真空計 でんりしんくうけい ionization vacuum gauge

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

電離真空計
でんりしんくうけい
ionization vacuum gauge

真空計の1種。低圧の気体分子を電子衝撃によって電離すると,生じた正イオン電流が気体の圧力に比例することを利用する。三極真空管と同様な電極配置をもち,陰極は熱陰極型と冷陰極型の2種類があるが,前者をさすことが多い。

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世界大百科事典内の電離真空計の言及

【真空計】より

…高真空領域では,熱電子によって気体分子を電離し,その結果生成したイオンの量を測るという方法が一般的である。これを電離真空計ionization gaugeという。やや高い圧力まで測定できるものをシュルツ型といい,超高真空領域まで使用できるよう改善されたものをB‐A型と呼ぶ。…

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