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RBS アールビーエスRutherford Backscattering Spectrometry

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

RBS
アールビーエス
Rutherford Backscattering Spectrometry

加速イオンビームによる材料表面の元素分析をする方法の一つ。イオンとしては数 MeVヘリウム粒子) のほか陽子や酸素など。材料表面に微量に含まれる重元素分布が測定でき,半導体工業を中心に急速に広まっている。原子核電荷により散乱される粒子を観測するだけで放射能は生じない。

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