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RBS アールビーエス Rutherford Backscattering Spectrometry

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

RBS
アールビーエス
Rutherford Backscattering Spectrometry

加速イオンビームによる材料表面の元素分析をする方法の一つ。イオンとしては数 MeVヘリウム (α粒子) のほか陽子や酸素など。材料表面に微量に含まれる重元素の分布が測定でき,半導体工業を中心に急速に広まっている。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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