化学辞典 第2版 「SIMS」の解説
SIMS(シムス)
シムス
secondary ion mass spectroscopy(二次イオン質量分析法)の略称．キロエレクトロンボルト(keV)単位の運動エネルギーをもつイオン(一次イオン)を固体表面に衝突させると，固体構成元素がスパッタされ飛び出してくる．飛び出す粒子の大部分は中性原子であるが，少量のイオン化したもの(二次イオン)も存在し，この二次イオンを質量分析器のなかに導入して同位体分析する方法をいう．最近では，レーザーなどのエネルギー流をプローブとして用いる方法や，飛び出した中性原子をイオン化させ質量分析する方法も広義にSIMSに含めることもある．SIMSは固体表面の微量分析，深さ方向分析，微小部分分析，同位体分析が可能であり，かつ水素からウランまでの全元素を分析対象にできるという，ほかの表面分析装置にはない特徴を有している．
出典 森北出版「化学辞典（第2版）」化学辞典 第2版について 情報