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アモルファスシリコン アモルファスシリコンamorphous silicone

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

アモルファスシリコン
amorphous silicone

非晶質シリコン。その薄膜にリンを少量添加して低価格な太陽電池,感光体,薄膜トランジスタなどをつくる。アモルファスシリコンの薄膜製造方法としては,シラン SiH4グロー放電や,反応性スパッタリングイオンプレーティングなどが用いられる。原子配列が不規則で相互にからみ合った原子結合をしているため,すぐれた機械強度と耐摩耗性・電気特性を保ちながら加工性がよく,大面積のデバイス作成も可能である。

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