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エピタキシャル技術 エピタキシャルぎじゅつ epitaxial technique

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

エピタキシャル技術
エピタキシャルぎじゅつ
epitaxial technique

単結晶基板上にその結晶と同一方位をもつ単結晶を成長させる技術のこと。成長層が基板結晶と同一材料の場合をホモエピタキシャル成長 homo-epitaxial growth ,異種材料の場合をヘテロエピタキシャル成長 hetero-epitaxial growthと呼び区別している。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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