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プラズマイオンプロセス プラズマイオンプロセスplasma ion process

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

プラズマイオンプロセス
プラズマイオンプロセス
plasma ion process

ガスの放電によって生じるプラズマには,イオン,中性ラジカル,電子が含まれ,それらを利用することで集積回路製造工程の低温化,精密化,ドライ化,スループットの増大などが可能になる。製造工程の自動化が進展し,従来の熱工程および各種の溶液洗浄工程を中心とするプロセスから,プラズマイオンプロセスへの転換が進んでいる。

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出典|ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典
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