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マイクロマシニング micromachining

大辞林 第三版の解説

マイクロマシニング【micromachining】

マイクロマシンを作ること。また、その技術の総称。半導体加工技術を応用した、微小部品の製造技術など。微細加工。

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ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

マイクロマシニング
micro-machining

数十μm程度の歯車やマイクロアクチュエータなどの微小機械をつくる加工技術。超微細加工ともいう。大規模集積回路 LSIや光学素子などの数μm以下の微細な形状をつくりだす加工技術をさらに高めたもので,原理は LSIの加工技術と同じ。究極的には原子レベルの操作を目指しており,すでに走査トンネル顕微鏡を利用して原子を 1個ずつ動かして文字を描くことに成功している。表面で構造物を組み立てる表面マイクロマシニングケイ素 Siを削って作製するバルク・マイクロマシニングという技術がある。(→ナノテクノロジー

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