オージェ電子分光（読み）オージェデンシブンコウ

化学辞典 第2版

オージェ電子分光
オージェデンシブンコウ
Auger electron spectroscopy

オージェ効果により発生してくる電子に注目して，そのエネルギー分析から物質の，主として表面に関する知見を得ようとする電子分光法の一部門．オージェ電子発生の手段にはいろいろの方法があるが，電子照射による内殻電子電離に続くオージェ効果による電子に注目する場合に，この用語が用いられることが多い．一次電子照射による試料の温度上昇があるので，主として金属のような無機材料の表面に関する情報を得る手段として用いられている．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」

法則の辞典

オージェ電子分光【Auger electron spectroscopy】

オージェ電子スペクトルは元素特有なものなので，電子のエネルギーを測定するか，同時に放出されるX線の観測によって微量元素の同定，定量を行うことが可能となる．ピークが鋭いので感度もよい．

出典　朝倉書店

世界大百科事典（旧版）内のオージェ電子分光の言及

【オージェ効果】より

…オージェ過程で原子外に飛び出す電子のエネルギーは，ほぼ原子の種類によって一定になるので，オージェ電子のエネルギー分布を調べることにより，元素分析を行うことができる。これを利用したのがオージェ電子分光である。オージェ電子分光では，超高真空装置内に入れた試料に3～10keVの電子ビームを当て，試料内の原子の内殻の電子をはじき飛ばした結果，オージェ過程により飛び出てくる電子のエネルギー分析を行って，元素分析を行う。…

【電子分光】より

…物質に電子をあてるときは，直接電子を放出する場合と間接的な過程(オージェ効果)で電子を放出する場合がある。前者の過程による電子の分光を電子衝撃分光electron impact spectroscopy(略称EIS)，後者の過程による電子の分光をオージェ電子分光Auger electron spectroscopy(略称AES)という。EISではあてた電子(一次電子)よりエネルギーの低い放出電子(二次電子)に着目するので，電子エネルギー損失分光electron energy loss spectroscopy(略称EELS)という名称も使われる。…

※「オージェ電子分光」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」