共同通信ニュース用語解説 「トリクロロシラン」の解説
トリクロロシラン
ケイ素、塩素、水素からできた化合物で、半導体材料の高純度多結晶シリコンの主原料になる。液体は無色で、31・8度で気体になる。人体に有害で、極めて引火性が高い。三菱マテリアルによると、空気中の水分と反応すると熱や水素が発生する。不活性ガス下での取り扱いが求められ、火などから遠ざけるほか、静電気放電の予防、火花を発生させない工具使用などの措置が必要。
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