トリクロロシラン

共同通信ニュース用語解説

トリクロロシラン

ケイ素、塩素、水素からできた化合物で、半導体材料の高純度多結晶シリコンの主原料になる。液体は無色で、31・8度で気体になる。人体に有害で、極めて引火性が高い。三菱マテリアルによると、空気中の水分と反応すると熱や水素が発生する。不活性ガス下での取り扱いが求められ、火などから遠ざけるほか、静電気放電の予防、火花を発生させない工具使用などの措置が必要。

更新日:2014年1月9日

出典　共同通信社 共同通信ニュース用語解説

化学辞典 第2版

トリクロロシラン
トリクロロシラン
trichlorosilane

SiHCl₃(135.45)．シリコクロロホルムともいう．Siと乾いたHClとの反応や，SiH₄とHClとをAlCl₃触媒下で反応させると得られる．無色の流動性のある液体．正四面体型のSiHCl₃分子が存在する．密度1.34 g cm^－3．Si-Cl約2.02 Å，Si-H約1.47 Å．融点－126.5 ℃，沸点31.8 ℃．空気中で発煙する．蒸気と空気の混合気体は爆発性がある．有機溶媒(ベンゼン，二硫化炭素，四塩化炭素，クロロホルムなど)に可溶．水で加水分解する．第三級アミンとの混合物はポリハロゲン化合物や，芳香族カルボン酸を還元する．触媒の存在下で，オレフィンやアセチレンに付加する．半導体用高純度ケイ素の製造原料や，有機ケイ素化合物の合成原料に用いられる．有毒．[CAS 10025-78-2]

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」

栄養・生化学辞典

トリクロロシラン

　SiHCl₃ (mw135.45)．シリコクロロホルム，トリクロロモノシランともいう．第三級アミンとの混合物はポリハロゲン化物や芳香族カルボン酸などを還元する．

出典　朝倉書店