ケイ素、塩素、水素からできた化合物で、半導体材料の高純度多結晶シリコンの主原料になる。液体は無色で、31・8度で気体になる。人体に有害で、極めて引火性が高い。三菱マテリアルによると、空気中の水分と反応すると熱や水素が発生する。不活性ガス下での取り扱いが求められ、火などから遠ざけるほか、静電気放電の予防、火花を発生させない工具使用などの措置が必要。
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SiHCl3(135.45)．シリコクロロホルムともいう．Siと乾いたHClとの反応や，SiH4とHClとをAlCl3触媒下で反応させると得られる．無色の流動性のある液体．正四面体型のSiHCl3分子が存在する．密度1.34 g cm－3．Si-Cl約2.02 Å，Si-H約1.47 Å．融点－126.5 ℃，沸点31.8 ℃．空気中で発煙する．蒸気と空気の混合気体は爆発性がある．有機溶媒(ベンゼン，二硫化炭素，四塩化炭素，クロロホルムなど)に可溶．水で加水分解する．第三級アミンとの混合物はポリハロゲン化合物や，芳香族カルボン酸を還元する．触媒の存在下で，オレフィンやアセチレンに付加する．半導体用高純度ケイ素の製造原料や，有機ケイ素化合物の合成原料に用いられる．有毒．[CAS 10025-78-2]
出典 森北出版「化学辞典（第2版）」化学辞典 第2版について 情報
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