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CMP シーエムピー CMP

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デジタル大辞泉の解説

シー‐エム‐ピー【CMP】[Conference of the Parties serving as the Meeting of the Parties]

Conference of the Parties serving as the Meeting of the Parties》⇒コップモップ(COP/MOP)

シー‐エム‐ピー【CMP】[chemical-mechanical polishing]

chemical-mechanical polishing砥粒または研磨液がもつ化学成分の作用とともに研磨すること。シリコンウエハーの平坦化をはじめ、半導体製造における重要な工程の一つとなっている。化学機械研磨

出典|小学館 この辞書の凡例を見る
監修:松村明
編集委員:池上秋彦、金田弘、杉崎一雄、鈴木丹士郎、中嶋尚、林巨樹、飛田良文
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