X線で物質を照射すると、物質に含まれる各原子のK、L殻などの内殻電子が励起され、原子はイオン化される。それによって生じた空孔に外側の殻の電子が落ち込んで、遷移エネルギーが特性X線として放射される。この過程により生ずる特性X線を蛍光X線という。空孔が電子によって埋められる際、X線を放射せず、外側の殻の電子がそのエネルギーをもらい、原子外に放出される過程もある。この放出される電子をオージェ電子という。この二つの競合過程で、蛍光X線が放射される割合(蛍光収量)は、軽元素では小さく、原子番号が大きくなるほど増す。
蛍光X線の発生は、原子核に近い殻の間での電子の遷移に基づくものであるから、その波長は原子の種類あるいは原子番号だけに関係し、化合物でも結合状態にほとんどよらない。そのため、蛍光X線のスペクトルを調べると、それを放射する元素の原子番号を知ることができ、物質の元素分析や組成分析に利用される。
[菊田惺志]
X線管球の対陰極からの一次X線を物質に照射すると,その物質に含まれる元素に固有な波長の特性X線を発する.この特性X線をとくに蛍光X線とよぶ.放射される蛍光X線は,回折結晶およびX線検知管を備えたX線分光器によって各波長ごとに分光し,X線スペクトルを得る.分析に用いられるX線の波長範囲は,約1.2 nm から0.03 nm にわたる.特性X線は,Na~Euの間のK系列X線,Zn~UのL系列X線,Ce~UのM系列X線などである.試料面を照射する一次X線は,普通,連続X線で,これはかなり深いところまで侵入するものと考えられるが,一般分析では表面から十分の数 mm 程度とされている.蛍光X線スペクトルの強度から物質中の元素の定量分析も可能である.ことに微量成分の分析は,試料を分解することなく非破壊で,迅速かつ正確に行える.
出典 森北出版「化学辞典(第2版)」化学辞典 第2版について 情報
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