MEMS（読み）メムス（英語表記）MEMS

デジタル大辞泉

メムス【MEMS】［micro electro mechanical systems］

《micro electro mechanical systems》半導体集積回路の製造に用いられる微細加工技術を応用し、モーターや駆動系などの機構を組み込んだ超小型の機械システム。微小電気機械システム。微小電子機械システム。→マイクロマシン →MEMSディスプレー

出典　小学館

知恵蔵

MEMS

シリコンやプラスチックを微細加工技術で加工することによって作られ、電気的に駆動される小さな機械。「メムス」と発音される。0.1mm径のモーターや10μm(マイクロメートル)の電気的に動く小さなピンセット、無線用途に使われる小さなコイルなど多くの応用が研究されている。実用化されているものでは、加速度センサーがある。また、100万個以上の小さな鏡を1cm角程度のシリコンチップに作り込み、鏡の角度を電気的に変化させることによって所望の映像を映し出すDMD(デジタル・マイクロミラー・デバイス)はプロジェクター用に実用化されている。

(荒川泰彦 東京大学教授 ／ 桜井貴康 東京大学教授 ／ 2007年)

出典　(株)朝日新聞出版発行「知恵蔵」