改訂新版 世界大百科事典 「ゾーンメルティング」の意味・わかりやすい解説
ゾーンメルティング
zone melting
帯域融解法,帯溶融法ともいう。棒状の固体(金属,半導体,セラミックスなど)に狭い幅の帯状の加熱部分をつくり,環状ヒーターを用いて融解し,ヒーターの位置を棒の一端から他端へ移動させることにより融解帯の位置を順次移動させる融解法。1957年アメリカのファーンW.G.Pfannによって考案されたもので,固体の精製と単結晶作製の一手段として用いられる。
不純物(溶質)の固体中への平衡溶解度CSは,固体が融液となっている場合の不純物の平衡溶解度CLと一般に異なる。すなわち,凝固温度におけるCS/CLの値(平衡分配係数k0)は一般に1以下または1以上である。そこで,たとえばk0<1の場合,図1に示す融解帯を下から上へ移動させると,凝固部分の不純物濃度は,融解帯中の不純物濃度よりも小となり,したがってゾーンメルティングを行う前の不純物濃度C0よりも小さくなる。つまり固体は精製されることになる。ゾーンメルティングを同一方向に繰り返すと,図2に示すように,不純物(溶質)濃度は繰返し数nが増すほど減少していく。なお,融解帯中の不純物濃度は凝固部分よりも大となることから,最終凝固部となる棒の上端部では不純物濃度が著しく増加する。k0>1の場合は,k0<1の場合とは逆で,棒の上方部が精製される。この方法を用いて単結晶をつくるさいには,融解帯の移動速度をきわめて小とし融解帯の冷却速度を小とすることにより,過冷却をさけて新結晶粒の生成をなくし,一つの結晶粒のみが成長するようにする。凝固時に体積が膨張する固体,たとえばGeやSiなどの単結晶をつくるのに用いられている。
執筆者:林 宏爾
出典 株式会社平凡社「改訂新版 世界大百科事典」改訂新版 世界大百科事典について 情報