エッチング[半導体]（読み）エッチング[はんどうたい]（英語表記）etching

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典

エッチング[半導体]
エッチング[はんどうたい]
etching

レジストにつくったパターンのとおりに，その下の薄膜あるいは基板を加工する技術。「蝕刻」と訳し，レジストで覆われていない部分を溶かして除去する。 LSIの製造工程で，ウェハーにレジスト溶液を塗り，ガラス・マスクに描かれた ICパターンを光で転写，パターン以外の不要部分のレジスト溶液を除去する。エッチングは，残ったレジスト以外の部分を溶かすが，高温ガスやプラズマ，反応性イオンを用いるドライ・エッチングと，溶液中に半導体基板を浸すウエット・エッチングがある。加工の微細化が進むにつれてドライが主流になっている。

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