エッチング[半導体](読み)エッチング[はんどうたい](英語表記)etching

  • はんどうたい
  • エッチング
  • 半導体

翻訳|etching

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

レジストにつくったパターンのとおりに,その下の薄膜あるいは基板を加工する技術。「蝕刻」と訳し,レジストで覆われていない部分を溶かして除去する。 LSIの製造工程で,ウェハーにレジスト溶液を塗り,ガラス・マスクに描かれた ICパターンを光で転写,パターン以外の不要部分のレジスト溶液を除去する。エッチングは,残ったレジスト以外の部分を溶かすが,高温ガスやプラズマ,反応性イオンを用いるドライ・エッチングと,溶液中に半導体基板を浸すウエット・エッチングがある。加工の微細化が進むにつれてドライが主流になっている。

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