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エッチング[半導体] エッチング[はんどうたい]etching

翻訳|etching

ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典の解説

エッチング[半導体]
エッチング[はんどうたい]
etching

レジストにつくったパターンのとおりに,その下の薄膜あるいは基板を加工する技術。「蝕刻」と訳し,レジストで覆われていない部分を溶かして除去する。 LSIの製造工程で,ウェハーにレジスト溶液を塗り,ガラス・マスクに描かれた ICパターンを光で転写,パターン以外の不要部分のレジスト溶液を除去する。エッチングは,残ったレジスト以外の部分を溶かすが,高温ガスやプラズマ,反応性イオンを用いるドライ・エッチングと,溶液中に半導体基板を浸すウエット・エッチングがある。加工の微細化が進むにつれてドライが主流になっている。

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