江崎玲於奈(れおな)が1957年(昭和32)に発表したダイオード。負性抵抗(印加電圧の増加によって通過電流が減少する)領域をもち、量子力学的な電子のエネルギー障壁突き抜け現象(トンネル効果)が現れるので、トンネルダイオードともよばれる。不純物濃度の高いpn接合でできたダイオードでは、普通のダイオードで電流の流れない順方向電圧の低い所でもトンネル効果による電流が流れ、それ以上電圧が増すとこの電流は減少する。さらに電圧を増すと、普通のダイオードと同じ拡散電流が流れ、全体としてN字形の電圧電流特性が得られる。電流が極小となる電圧は使われる半導体によって変わり、ゲルマニウムで約0.36ボルト、ヒ化ガリウム(ガリウムヒ素)で約0.6ボルト、シリコン(ケイ素)ではその中間である。
トンネル現象とは、pn接合内にできる空乏層が薄くなると、高不純物濃度のために生じた強力な内部電界によって、本来ならば流れない空乏層を電流が流れることをいう。量子力学的効果のためきわめて応答速度が速く本質的に低雑音である。このため、直列インダクタンスの小さい容器に封入したエサキダイオードは高周波特性が良好で、マイクロ波増幅、発振素子や超高速スイッチ素子に用いられる。とくに低雑音であることから、マイクロ波増幅装置の初段増幅によく用いられた。しかし、2端子素子のため、入力と出力の分離がむずかしく、自励発振しやすいので、1980年代以降ではヒ化ガリウムを用いた、3端子素子で、入出力の分離が容易な電界効果トランジスタがかわって用いられる。
[右高正俊]
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…1957年東京通信工業研究部で,不純物原子を多量に含んだゲルマニウムによる薄いp‐n接合を作成し,その電流電圧特性が特異な非線形特性を示すことを発見した。この特性は,物理学からみると量子力学の基本であるトンネル効果の鮮やかな実証例であり,電子工学からみると,現在,エサキダイオードの名で呼ばれる負性抵抗を示す動作領域をもつ優れた半導体素子として結実した(トンネルダイオード)。接合によるトンネル効果の発見は,その後トンネル分光学という新分野を開き,やがては超伝導体の研究にもその手法が適用されて重要な発見をもたらすなど,固体物理学の発展に大きく寄与し,このことがノーベル賞受賞の理由となった。…
…縮退したp型およびn型半導体で形成されたp‐n接合では,空間電荷層の厚さが約100Å程度と薄いために電子のトンネル現象を生じ,順方向に電圧を加えたとき図に示すような負性抵抗を生ずるので,マイクロ波の発振,増幅や超高速スイッチングに使用される。この素子をトンネルダイオード,またはこの現象を1957年に発見した江崎玲於奈の名を冠しエサキダイオードEsaki diodeともいう。p‐n接合では電圧を加えるとトンネル効果により電流が流れ始めるが,順電圧を大きくしていくとトンネル電流が減少して負性抵抗が現れ,さらに順電圧を大きくすれば少数キャリアの注入電流が流れ出すので,電圧制御型の負性抵抗を生ずる。…
※「エサキダイオード」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」
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